电子行业用超纯水设备的原因是什么?
超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,其电阻率大于18 MΩ.cm,或接近18.3MΩ.cm(25℃),那么关于电子行业超纯水你又知道哪些呢?下面我们一起看看吧!
电子行业用超纯水设备的原因是什么如下:
一、超纯水在以电路板为主的电子元器件生产中的作用越来越重要,超纯水的质量已成为影响电路板、电子元器件产品质量、生产产量和生产成本的重要因素之一,在电子元器件的生产中,超纯水主要用于清洗水和用于配制各种溶液、浆液,不同的电子元器件在生产中对纯水和水质的要求是不同的;
二、在晶体管和集成电路的生产中,超纯水主要用于清洗硅片,少量用于制备药液、硅氧化的水蒸气源、一些设备的冷却水、制备电镀液等,集成电路生产中80%的工序都需要用高纯水来清洗硅片,水质的好坏与集成电路产品的质量和生产量有很大关系;
三、水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜产生耐压,重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结电压降低,III族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性变差,V族元素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性变差;
四、会使P型半导体特性变坏,水中的细菌经过高温碳化后的磷(约占灰分的20-50%)会使P型硅片的局部区域变成N型硅而导致器件性能变坏,水中的微粒(包括细菌)如吸附在硅片表面,就会造成电路短路或特性变差;
五、电子超纯水设备是为了保证电子产品的质量安全,促进电子行业的健康运行,电子超纯水设备用于集成电路生产中高纯水清洗硅片、半导体材料、晶圆材料的生产、加工。