微型电子生产为什么用纯水设备?会有什么优势吗?
微电子纯水设备,微电子工业是信息产业的基础。超纯水是微电子工业生产不可缺少的重要基础材料,超纯水技术是其不可忽视的重要支撑技术之一。随着21世纪信息化世纪的到来,超纯水技术也必须随着微电子技术的高速发展而同步发展,并努力提高到一个新的水平。微电子元件在生产时会用到大量的清洗用水,清洗用水的水质必须要达到一定的电阻率才能保证清洗干净,不会留下残留物质,所以微电子元件对于清洗用水的水质要求非常严格。
大家对微电子纯水设备已经非常了解了,对超纯水回收已日益引起重视,随着微电子生产对超纯水水质要求的不断提高。以及超纯水技术的不断进步和精处理技术的不断完善、提高,超纯水制取成本(包括建设费用及运行费用)亦不断提高。为了节约能源,降低制水成本,并减轻对环境的污染,近十年来,充分回收利用生产过程使用后水质仍然较好的纯水问题,在国内外正日益引起重视。
1.回收率
为了节约纯水用量,一方面要积极改进清洗工艺 ,一方面要积极回收、综合利用清洗后的排水。通常认为,回收率为 50%~70%较为经济。
2.回收水水质控制指标
对于回收水的水质控制,目前尚无统一的标准 ,可根据生产工艺的水质要求,排水水质及设计回收率综合确定。回收水水质控制得松,则回收率提高,回收处理费用也会增高。通常,凡TOC小于5.0Mg/1、25℃ 时水的电阻率大于2000Ω·cm的排水,均可回收利用。